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高分辨率薄膜衍射儀 定性分析在X射線(xiàn)光束通過(guò)索拉狹縫、發(fā)散狹縫照射在樣品上，樣品臺(tái)位于測(cè)角儀中心，基于反射幾何θs-θd，X射線(xiàn)光束在滿(mǎn)足布拉格定律時(shí)，在特定的方向上發(fā)生衍射現(xiàn)象，經(jīng)過(guò)防散射狹縫、索拉狹縫、接收狹縫到達(dá)X射線(xiàn)探測(cè)器上，最終經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)在分析軟件上展現(xiàn)出采集的衍射圖譜。